NEWPORT 优铂特 PSM2SG 超快速压电转向镜调整架
压电转向镜调整架,2 mrad x 2 mrad x 16 µm,带应变计传感器
带有应变计传感器的PSM2SG压电转向镜调整架可为反射镜、光栅和其他光学元件提供高速、亚微弧度分辨率,翻转、倾斜和 Z 轴运动。PSM2 配备了不带杠杆臂传动的直接压电促动系统,非常适合高带宽激光束转向、转换和稳定,光束扫描、图像稳定和激光腔调谐。采用直角三角形配置的三个多层、低压压电叠堆(PZT)可以提供快速和可靠的运动。每个压电叠堆的长度可以单独控制。对一个叠堆施加电压会导致翻转或者倾斜。同时改变全部三个堆叠的长度,将导致线性 Z 方向位移。 翻转和倾斜是正交的,无需按替代设计的要求进行坐标转换,而在替代设计中,压电叠层以120°的间隔放置。 PSM2SG的平行运动设计是完全温度补偿的。环境温度的变化不影响倾斜角度。PSM2同样是免维护的,不会磨损。PSM2SG基于内部应变计位置传感器提供绝对位置控制、高线性度和高重复性功能。 位置反馈还会补偿促动器蠕动。 为了获得最高的位置稳定性和最高的温度不敏感性能,这些传感器完全采用惠斯通电桥设计。PSM2SG可以开环或闭环控制。与3轴 NPC3SG 纳米定位放大器搭配使用。
轴向刚度
50 N/μm
非线性度
0.5% (typical)
电动轴
3
角度范围
±0.115°
电缆长度
1.2 m
机制
Steering Mirror
重量
85 g
电容
1.8 µF
频率
5400 Hz
负载
1 N
开环线性分辨率
0.03 nm
开环角分辨率
0.004 µrad
闭环线性分辨率
3 nm
闭环角分辨率
0.04 µrad
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