NEWPORT 优铂特 NPM140-D 纳米定位压电式测微头适配器
测微计适配器,压电式开环,140 µm,XPS
NPM140-D压电千分尺适配器为手动产品提供纳米定位功能。该适配器安装在位移台的促动器座上,与所有Newport平台和调整架机械兼容,并具有0.375英寸(9.5毫米)直径的安装法兰。粗调是通过手动螺丝进行的。通过控制NPM140的压电电压可以完成最终的微调。复杂的线切割挠曲系统可提供140um的超长行程范围,该系统还可以用作促动器尖端的线性导轨。此开环版本的分辨率在亚纳米范围内,仅受控制电路的噪声限制。由于压电陶瓷材料的滞后性和蠕变,可重复性和稳定性受到影响。由于该千分尺适配器将手动螺钉从正常位置退回22毫米,因此建议使用长度超过22毫米的千分尺或螺钉,以利用手动平台或调整架的全部行程。带有伴随智能EPROM的Dsub25连接器。与XPS Motion控制器一起使用,需要XPS-DRVP1驱动程序模块。
参数
行程范围
140 µm
轴向负载
100 N
负载能力,拉力
150 N
轴向刚度
0.4 N/µm
电容
1.7
共振频率
670.0
开环分辨率
0.1 nm
电缆长度
1 m
重量
0.125 kg
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