NEWPORT 优铂特 NPA100SGV6 真空兼容压电叠堆促动器
压电堆促动器，真空，0.1 毫米行程范围，应变计
NPA100SGV6真空兼容的纳米定位压电促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了100um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力，这使其特别适用于机床，主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜，激光调谐和光束控制，膜片钳或微光刻应用。该闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器，可实现高精度和可重复的运动。此外，位置反馈补偿了促动器的蠕变。采用完整的惠斯通电桥设计进行组装，并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制中。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样，应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手，并在固定螺丝时使用。真空兼容10-6 Torr。
与NPC3SG纳米定位放大器一起使用。
参数
行程范围
0.1 mm
轴向负载
1000 N
负载能力，拉力
150 N
轴向刚度
10 N/µm
电容
9.0 µF
共振频率
3000 Hz
闭环重复精度
28 nm
闭环分辨率
2.0 nm
开环分辨率
0.2 nm
闭环行程范围
80 µm
真空兼容性
10-6 Torr
电缆长度
2 m
微信/手机： 18938648240 QQ : 1605935956 电话 : 075583317774 Email : 1605935956@qq.com
