NEWPORT 优铂特 NPA25SG-D 纳米定位压电叠堆促动器
压电堆促动器,0.025毫米行程范围,应变计,XPS
NPA25SG-D纳米定位压电堆栈促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了25um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力,这使其特别适用于机床,主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜,激光调谐和光束控制,膜片钳或微光刻应用。在这种开环版本中,分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样,应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手,并在固定螺丝时使用。
与XPS控制器一起使用。
参数
行程范围
0.025 mm
轴向负载
1000 N
负载能力,拉力
150 N
轴向刚度
40 N/µm
电容
2.5 µF
共振频率
12000 Hz
闭环重复精度
16 nm
闭环分辨率
0.5 nm
开环分辨率
0.05 nm
闭环行程范围
20 µm
电缆长度
1.2 m
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