NEWPORT 优铂特 NPA100 纳米定位压电叠堆促动器
压电堆促动器,0.1毫米行程范围,开环
NPA100纳米定位压电堆栈促动器非常适合集成到定制的运动设备中。它在非常紧凑的外壳中提供了100um行程范围内的纳米分辨率和微秒级的响应时间。NPA系列促动器可以产生高达1000 N的力,这使其特别适用于机床,主动隔振或自适应结构。它们小尺寸和高谐振频率的特点适用于扫描显微镜,激光调谐和光束控制,膜片钳或微光刻应用。在这种开环版本中,分辨率仅受控制电路的噪声限制,但由于压电陶瓷材料的滞后和蠕变,其可重复性和稳定性受到影响。固定是通过压电促动器顶部和底部的M3螺纹完成的。像所有压电设备一样,应避免弯矩载荷和侧向力。提供平头扳手,并在固定螺丝时使用。
与NPC3纳米定位放大器一起使用。
参数
行程范围
0.1 mm
轴向负载
1000 N
负载能力,拉力
150 N
轴向刚度
10 N/µm
电容
9.0 µF
共振频率
3000 Hz
开环分辨率
0.2 nm
电缆长度
1 m
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