NEWPORT 优铂特 8353-UHV 真空微纳米电机压电执行器
压电促动器,微型Picomotor ,行程 0.5 英寸,超高真空
8353-UHV源自我们标准的8353微型Picomotor,设计用于低至10-9 Torr基本压力的超高真空应用。8353-UHV专为消除虚拟泄漏而设计,并使用了低脱气性的材料。该产品在85°C下历时3小时的脱气率小于挥发性物质的5 ppm。
定位分辨率 <30 nm
我们的Picomotor促动器的步距小于每步30 nm,允许非常小的受控运动。请注意,开环微电机的步距在步进之间以及前后方向之间变化,并且与有效载荷直接相关–因此,在操作开环微电机时,位置反馈应由外部信号提供。对于需要绝对位置校准和高重复性的真空应用,请考虑使用真空兼容的闭环微电机致动器。
铁氟龙或卡普顿线
我们所有与真空兼容和与超高真空兼容的Picomotor促动器都带有短的,涂有特氟龙的导线,因此您可以连接到真空室的馈通件。但是,如果您正在使用X射线或其他高辐射应用,则我们提供带有Kapton涂层的电线扩展的版本。
超紧凑设计
Tiny Picomotor促动器的占地面积小,非常适合您的紧凑区域需求。即使在这种小包装中,它们也可提供高达3磅(13 N)的推力。
易于使用的灵活运动控制器和驱动器
我们的开环Picomotor控制器和驱动器是模块化的。您最多可以菊花链式连接多达31个驱动器以及每个通道四个通道,因此您可以拥有多达124个标准Picomotor促动器的网络。控制器系统有两个接口选项:手柄或计算机,均提供即插即用功能。或者,您可以选择使用我们的TTL /模拟微电机驱动器。
设置和取消的稳定性几乎没有反冲
当向压电施加电压时,Tiny Picomotor促动器移动,改变其长度,然后移动使螺钉旋转的钳口。没有通电时,促动器不会移动。您可以确信,即使关闭系统电源,您的设置也会保持不变。
参数
行程范围
12.7 mm
最小位移增量
<30 nm
最大速度
1.2 mm/min
轴向负载
13 N
安装
5.08 mm Shank
频率
1.75 kHz
环境
Ultra High Vacuum
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