NEWPORT 优铂特 8321-UHV 真空兼容 Picomotor™ 压电促动器
Picomotor 促动器，超高真空，0.5 英寸行程，12×0.5 mm 安装螺纹
8321-UHV超高真空Picomotor促动器提供0.5英寸（12.7毫米）的行程，可用于超高真空环境（10-9 Torr）以及VUV/EUV应用中。它是光束转向和科学真空运动控制应用的理想选择。该促动器具有优于30 nm的分辨率，最小的反冲以及出色的长期稳定性和高刚度，包括即使在断电状态下也能保持其设定位置的能力。而且，在2毫米的往返行程中经过测试的寿命超过15,000个循环，您可以放心地将它们集成到系统中。12 x 0.5毫米的螺纹可用于安装。
定位分辨率 <30 nm
我们的Picomotor促动器的步距小于每步30 nm，允许非常小的受控运动。 请注意，开环微电机的步距在步进之间以及前后方向之间变化，并且与有效载荷直接相关–因此，在操作开环微电机时，位置反馈应由外部信号提供。 对于需要绝对位置校准和高重复性的真空应用，请考虑使用真空兼容的闭环微电机致动器。
Teflon 或 Kapton 电缆
所有的真空兼容和超高真空兼容的 Picomotor 促动器均随附较短的 Teflon 涂层导线，因此您可以连接到您的真空室馈入装置。但是，如果您正在使用 X 射线或其他高辐射应用，我们还可提供带有 Kapton 涂层导线延长件的版本。
易于使用、灵活的控制器和驱动器
我们提供开环微电机控制器和驱动程序以及闭环微电机控制器和驱动器。 控制器系统有两个接口选项：手柄或计算机，均提供即插即用功能。 对于开环促动器，您也可以选择使用我们的TTL /模拟微电机驱动器。
一次设置永久有效的长期稳定性
当电压施加到压电体上时，Picomotor 促动器会发生移动，从而改变其长度，进而移动使螺钉发生转动的钳口。当未施加电源时，促动器不会移动。即使在关闭系统电源时，您也可以确信设置将保持不变。
力量强大
标准尺寸 Picomotor 促动器的载重能力为 5 磅 (22 N)，小型 Picomotor 促动器的载重能力为 3 磅 (13 N)，二者均具有相当大的推力。
参数
行程范围
12.7 mm
最小位移增量
<30 nm
最大速度
1.2 mm/min
轴向负载
22 N
安装
M12 x 0.5 mm Thread
频率
2 kHz
环境
Ultra High Vacuum
真空兼容性
10-9 Torr
真空导线材料
Teflon®
线缆长度
44.5 mm
工作温度
10-40 C
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