NEWPORT 优铂特 NPX200SG-D NPX 压电叠堆线性平移台
纳米定位位移台,200 µm,应变计,XPS
NPX200SG-D 纳米定位的线性位移台是基于压电控制的200um行程的线性位移台,可在X轴上提供纳米分辨率的运动。它非常适用于小型组件的纳米定位,例如反射镜,光纤,激光二极管,微光学器件,传感器或细胞样本。应用包括光学延迟线,干涉仪的路径长度变化,激光光刻,扫描显微镜和膜片钳等。NPX位移台具有高度可靠的多层低压压电传感器(PZT)堆栈,可进行高占空比操作。精密的、有限元优化的平行四边形固态挠性导向系统可确保完美的平行运动。由于采用了无摩擦导轨,NPX位移台无需维护,不易磨损,并具有快速响应和快速稳定的性能,使其适用于动态过程,例如高频误差补偿,跟踪,快速步进或连续扫描。闭环版本具有高分辨率应变片式位置传感器,可实现高精度和可重复的运动,还可以补偿执促动器的蠕变。传感器采用完整的惠斯通电桥设计。它可以在开环或闭环控制中运行。固定是通过顶板和底板上的许多螺纹和定位销孔实现的。要安装到具有相同栅格的光学平台或其他组件上,请使用转接板NPX-BP。与所有压电挠曲装置一样,在紧固过程中,应避免过大的弯矩载荷和作用在顶板与外壳之间的侧向力。这些外力可能会损坏位移台。
与XPS控制器一起使用。
参数
行程范围
0.2 mm
位移轴
X
轴向负载
16 N
垂直负载能力
10 N
拉力
34 N
推动力
340 N
非线性度
0.06%
轴向刚度
0.08 N/µm
反馈
Strain-gauge
电缆长度
1.2 m
电容
1.8 µF
闭环分辨率
4 nm
闭环行程
160 µm
开环分辨率
0.4 nm
开环行程
200 µm
共振频率,空载
177 Hz
重量
180 g
RoHS
Compliant
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