NEWPORT   优铂特     ONE-XY100HA   One-XY 中行程集成 XY 线性平移台

电动XY 线性位移台，线性电机，90mm行程，高精度

ONE - XY100HA 是集成XY线性电机位移台的高精度版本，旨在消除单个X和Y级的集成，并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为90 mm，X轴和Y轴之间有精确的正交对齐。这一位移台利用坚固的部件，如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能，使它们成为精密工业应用的理想解决方案，如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。

参数

• 电动轴
  XY
• 行程范围
  90 mm
• 最大速度
  200 mm/s
• 最小位移增量
  50 nm
• 最大加速度
  0.3 G
• 连续运动力
  10 N
• 峰值驱动力
  21 N
• 中心负载能力
  120 N
• 精度，保证值
  ±0.3 µm
• 双向重复精度，典型值
  ±0.040 µm
• 双向重复精度，保证值
  ±0.080 µm
• 平面度，典型值
  ±1.0 µm
• 直线度，典型值
  ±1.0 µm

• 正交性
  5 µrad
• 俯仰，保证值
  ±65 µrad
• 偏摆，保证值
  ±65 µrad
• 滚转，典型值
  ±29 µrad
• 驱动方式
  Linear Motor
• 原点重复精度
  ±0.1 µm
• 电缆长度
  3 m
• 宽度
  184 mm
• 重量
  5.8 kg
• MTBF
  20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
• 顺应性
  RoHS 3, CE

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