NEWPORT 优铂特 ONE-XY60 One-XY 中行程集成 XY 线性平移台
电动XY 线性位移台,线性电机,50mm行程
ONE - XY60 是一个集成XY线性电机位移台,旨在消除单个X和Y级的集成,并提高系统的动态应用刚度。它的特点是行程范围为50mm,X轴和Y轴之间有精确的正交对准。这一位移台利用坚固的部件,如其无铁电机驱动器和交叉滚子轴承来提供高性能,使它们成为精密工业应用的理想解决方案,如半导体晶片检测、微电子测试和组装、计量、激光微加工。
参数
电动轴
XY
行程范围
50 mm
最大速度
200 mm/s
最小位移增量
50 nm
最大加速度
0.3 G
连续运动力
10 N
峰值驱动力
21 N
中心负载能力
100 N
精度,典型值
±0.4 µm
精度,保证值
±1.5 µm
双向重复精度,典型值
±0.040 µm
双向重复精度,保证值
±0.070 µm
平面度,典型值
±0.5 µm
直线度,典型值
±0.5 µm
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