NEWPORT 优铂特 IDL165-100LM IDL 长行程工业级线性平移台
电动线性位移台，工业级，线性电机，100mm行程，165mm
IDL165 - 100LM工业级线性电机位移台具有100mm行程范围，最小位移增量为50nm，最高速度为2000mm/s；这款坚固的165 mm宽工业级线性电机位移台专为需要高精度、高通量和高可靠性的激光材料加工应用而设计。高效、非接触、无铁芯线性电机提供快速运动和速度稳定性以及450 N的载重能力。其他工业环境功能包括硬顶盖、柔性侧带和空气净化。
对于位移台和控制器兼容性, 请点击此处: 位移台兼容性矩阵
参数
行程范围
100 mm
最大速度
2000 mm/s
最小位移增量
50 nm
连续运动力
68 N
峰值驱动力
289 N
中心负载能力
450 N
精度，保证值
±2.0 µm
双向重复精度，典型值
±0.10 µm
双向重复精度，保证值
±0.25 µm
俯仰，保证值
±15 µrad
俯仰顺应性
0.4 µrad/Nm
偏摆，保证值
±15 µrad
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