NEWPORT 优铂特 IMS800LM-S IMS-LM 高性能长行程线性电机平移台
电动线性位移台,800mm行程,线性电机,1/4-20,不带电缆
IMS800LM - S线性位移台专为800 mm行程范围的自支撑应用而设计。该位移台具有稳健的设计和低成本的高性能,使其成为精密工业和实验室应用的经济高效的解决方案。IMS采用FEM优化的挤压铝车身,以避免弯曲效应或负载下的变形。线性电机采用居中、高效的三相同步铁芯,线性电机作为驱动元件,提供高速、高加速度和高系统响应性。IMS系列位移台是许多精密工业应用的理想之选,例如半导体晶片检测、微电子测试和组装、DNA测序或激光加工。相关的驱动模块和电缆套件是必需的,必须单独购买(参见下面的附件部分)。
参数
行程范围
800 mm
最大速度1
1000 mm/s
最小位移增量
20 nm
连续运动力
100 N
峰值驱动力
210 N
中心负载能力
600 N
精度,典型值
±4.0 µm
精度,保证值
±9.0 µm
双向重复精度,典型值
±0.10 µm
双向重复精度,保证值
±0.50 µm
俯仰,典型值
±100 µrad
俯仰,保证值
±200 µrad
俯仰顺应性
0.2 µrad/Nm
注释:
1000 mm/s with XPS-EDBL, 500 mm/s with XPS-DRV11 / XPS-DRV02
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