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NEWPORT   优铂特      XMS100-S    XM 超精密线性电机平移台

品牌: NEWPORT优铂特
型号: XMS100-S
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NEWPORT   优铂特      XMS100-S    XM 超精密线性电机平移台


电动线性位移台,线性电机,100mm行程,100N载重,M4和M6


参数

  • 行程范围
    100 mm
  • 最大速度
    300 mm/s
  • 最小位移增量1
    1 nm
  • 连续运动力
    25 N
  • 峰值驱动力
    100 N
  • 中心负载能力
    100 N
  • 精度,典型值
    ±0.3 µm
  • 精度,保证值
    ±0.75 µm
  • 双向重复精度,典型值
    ±0.030 µm
  • 双向重复精度,保证值
    ±0.040 µm
  • 平面度,典型值(保证值)
    ±0.37 (±0.75) µm
  • 直线度典型值(保证值)
    ±0.37 (±0.75) µm
  • 俯仰,典型值
    ±12 µrad
  • 俯仰,保证值
    ±25 µrad
  • 俯仰顺应性
    2.5 µrad/Nm
  • 偏摆,典型值
    ±10 µrad
  • 偏摆,保证值
    ±25 µrad
  • 偏摆顺应性
    3.5 µrad/Nm
  • 滚转顺应性
    2.0 µrad/Nm
  • 驱动方式
    Linear Motor
  • 原点重复精度
    ±0.025 µm
  • 螺纹类型
    M4 and M6
  • 重量
    3.5 kg
  • MTBF
    20,000 h (25% load, 30% duty cycle)
  • 最大耗电量
    70 W
  • 顺应性
    RoHS 3, CE
注释:


  1. Requires operation in controlled environment to achieve specification.

   














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