NEWPORT 优铂特 IMS600CCHA IMS 长行程铝步进电机线性平移台
电动线性位移台,600mm行程,直流电机,线性编码器,1/4-20
带有直流电机的IMS600CCHA线性位移台使用了与ILS系列相同的业内公认的技术。该位移台具有稳健的设计和低成本的高性能,使其成为精密工业和实验室应用的经济高效的解决方案。特点包括:循环滚珠轴承滑轨,提供出色的有效负载能力和长寿命;FEM优化的挤压铝制本体,以避免在负载下的弯曲效应或挠曲。预加载的无齿隙滚珠丝杠提供快速运动以及快速步进和稳定时间。集成的线性标尺提供0.1 µm的分辨率反馈,从而提高精度。这一位移台是许多精密工业应用的理想之选,如半导体晶片检测、微电子测试和组装、拾取和放置、DNA测序或激光加工。
参数
行程范围
600 mm
最大速度
200 mm/s
最小位移增量
200 nm
中心负载能力
600 N
轴向负载 (+Cx)
30 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-30 N
精度,典型值
±3.5 µm
精度,保证值
±6.5 µm
单向重复精度,典型值
±0.12 µm
单向重复精度,保证值
±0.25 µm
双向重复精度,典型值
±0.20 µm
双向重复精度,保证值
±0.5 µm
俯仰,典型值
±50 µrad
俯仰,保证值
±125 µrad
俯仰顺应性
0.2 µrad/Nm
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