NEWPORT 优铂特 UTS100CC UTS 超薄型钢线性位移台
电动线性位移台,不锈钢,100mm行程,直流电机, M4 和 M6
UTS100CC由直流电机驱动,行程范围为100 mm。该UTS平台采用了低剖面设计,具有优异的刚度和热稳定性,因此非常适合温度不能很好控制的环境。它还具有安装在金刚石校正的丝杠上的超高分辨率编码器、提供精确增量运动能力和高动态速度控制的减速带以及包括防反冲预加载和精密解耦系统的精密研磨螺母。
参数行程范围
100 mm
最大速度
40 mm/s
最小位移增量
300 nm
中心负载能力
200 N
轴向负载 (+Cx)
50 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-10 N
精度,典型值
±1.5 µm
精度,保证值
±2.75 µm
单向重复精度,典型值
±0.30 µm
单向重复精度,保证值
±0.5 µm
双向重复精度,典型值
±0.8 µm
双向重复精度,保证值
±1.75 µm
俯仰,典型值
±25 µrad
俯仰,保证值
±50 µrad
俯仰顺应性
15 µrad/Nm
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