NEWPORT 优铂特 MFA-CCV6 MFA 微型钢电动线性位移台
电动线性位移台，微型，25mm行程，直流电机，真空兼容
MFA-CCV6真空兼容微型线性位移台是为空间有限的应用和紧凑的多轴组件而设计的。这是一个高分辨率、单轴25mm的位移台，采用低成本的电动包装。这一位移台的典型应用是光纤光学对准、激光二极管研究、生物医学应用和系统检测。MFA-CC 直流电机采用集成齿轮箱和电机安装的高分辨率2，048 cts/rev旋转编码器。高分辨率的位置反馈和低摩擦的机械设计确保了100 nm灵敏度的超平滑移动。MFA-CC适合需要小增量运动、高动态速度范围和良好重复性的应用。Newport进一步强调了MFA线性位移台的平滑移动。专有双列线性球轴承设计和轴承道直接加工到位移台的结构框架中。与使用商用轴承的替代解决方案相比，MFA线性位移台具有更高的承载能力和刚度，并且俯仰和偏航误差较小。Newport还有另一个好处：:集成轴承方式是为基座安装和XY组件提供4个大间距安装孔。这具备了更好的应力分布，并允许更刚性的多轴组合。
注意:由于各种馈通配置和顾客偏好，与位移台一起提供的连接器不真空兼容。请联系Newport，了解真空兼容连接器。对于位移台与控制器的兼容性，请单击此处:
Stage Compatibility Matrix双排线性滚珠轴承滑轨
Newport专有的双列直线球轴承设计具有直接加工到平台结构框架中的轴承方式，可实现非常顺畅的行程，更长的耐用性和更长的使用寿命。 与使用商用轴承的其他解决方案相比，MFA线性位移台具有更高的负载能力和刚度，并且俯仰和偏航误差也较小。
带有高分辨率反馈的高速直流电机
直流电动机的最大特点是速度快，运动平稳，效率高，功率/重量比高。MFA-CC直流电动机具有一个集成的齿轮箱和一个电动机安装的旋转编码器。这个2,048 cts / rev 高分辨率的旋转编码器提供位置反馈。 结合低摩擦机械设计，MFA-CC可提供100纳米灵敏度的超平滑运动。 更快的运动，更高的可靠性和更低的游隙使直流电动机驱动的位移台非常适合要求小增量运动，高动态速度和良好重复性的应用。
真空兼容版本
MFA-CCV6 是 MFA 的真空兼容版本，最低可兼容 10-6 hPa。
运行端点限位开关
平移台两端具有运行端点限位开关，以防止平移台因超程而受损。
参数
行程范围
25 mm
最大速度
1.25 mm/s
最小位移增量
100 nm
中心负载能力
25 N
轴向负载 (+Cx)
5 N
逆轴向负载能力 (-Cx)
-5 N
精度，典型值
±1.0 µm
精度，保证值
±3.0 µm
单向重复精度，典型值
±0.08 µm
单向重复精度，保证值
±0.15 µm
双向重复精度，典型值
±0.2 µm
双向重复精度，保证值
±1.0 µm
俯仰，典型值
±25 µrad
俯仰，保证值
±100 µrad
俯仰顺应性
80 µrad/Nm
偏摆，典型值
±30 µrad
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