HAMAMATSU 滨松 C10506-05-16 iPHEMOS-DD 倒置光发射显微镜
倒置光发射显微镜是一种背面分析系统，旨在通过检测半导体器件缺陷发射的光和热来识别故障位置。
从背面检测信号便于在晶圆表面使用探测卡和探针卡，样品设置可以顺利进行。该平台可以安装多个探测器和激光器，能够选择最佳探测器，以执行各种分析方法，例如光发射和热生成分析、IR-OBIRCH 分析等；此外，通过测试仪连接，使动态分析能够高效执行。
●iPHEMOS-DD
通过直接连接到 LSI 测试仪，可以减少由于连接电缆长度造成的信号延迟，并且可以对高速驱动样本进行分析。直接对接专用探针器可将多针指针连接到 300 mm 晶圆上，并且通过附加选件，可通过操作器执行封装分析和针指针连接。
LSI 测试仪连接示例
特点
选项
显示功能
iPHEMOS-DD 将微光图像叠加在高分辨率图案图像上，以快速定位缺陷点。对比度增强功能使图像更清晰、更细腻。
注释：评论、箭头和其他指示符可以显示在图像上所需的任何位置。
刻度显示：刻度宽度可以使用分段显示在图像上。
网格显示：垂直和水平网格线可以显示在图像上。
缩略图显示：图像可以存储和调用为缩略图，并且可以显示图像信息，例如载物台坐标。
分屏显示：图案图像、微光图像、叠加图像和参考图像可以一次显示在 4 窗口屏幕中。
详细参数
| 线路电压 | 交流 200 V (50 Hz/60 Hz) |
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| 功耗 | 约 1400 VA（最大 3300 VA） |
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| 真空度 | 约 80 kPa 或以上 |
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| 压缩空气 | 0.5 MPa ～ 0.7 MPa |
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| 尺寸/重量 | 主机：1980 mm (W)×1270 mm (D)×834 mm (H)，约 1700 kg
控制架：880 mm (W)×700 mm (D)×1842 mm (H)，约 300 kg
可选桌台：1400 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H)，约 60 kg |
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*iPHEMOS-DD 主机的重量包括探针或同等物品。
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