HAMAMATSU 滨松 C10346-01 多波段等离子加工监控器
多波段等离子加工监控器 C10346-01 是一个专门设计用于监测半导体的各种制造过程中产生的光学等离子体发射的系统，包括蚀刻、溅射、清洁和 CVD。该 MPM 可以实时处理多通道记录。
详细参数
| 型号 | C10346-01 |
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| 波长范围 | 200 nm 至 950 nm |
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| 波长精度 | ±0.75 nm |
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| 波长分辨率（半宽度） | <2 nm |
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| 电源 | AC100 V 至 AC240 V (50 Hz/60 Hz) |
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| 功耗 | 约 70 VA |
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| 数字输出端子（确定信号输出） | TTL 最多 5 个通道（使用测量触发信号时最多 3 个通道） |
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| 数字输入终端（开始测量触发信号） | 使用 TTL 5 通道的 TTL 1 通道 |
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| 数字输出端（占线信号） | 使用 TTL 4 通道的 TTL 1 通道 |
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| 模拟输出端 | 2 通道 0 V 至 10 V |
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| 光纤探针连接器 | SMA |
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| 通信接口 | USB 2.0 Type B |
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| 环境工作温度 | +10 ̊C 至 +30 ̊C |
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尺寸
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