10QM20EM.15是一款高能准分子激光反射镜，其直径为25.4 mm，厚度为6.35 mm，工作波长为248 nm。这款反射镜针对45度入射角进行了优化，使其对S偏振光和P偏振光均有大于99%的反射率。

Newport高能准分子激光反射镜在紫外级熔融石英基板上涂覆超硬介电涂层，能够抵抗来自高功率激光器造成的破坏。涂层非常耐用，经得起反复清洗。