ILS200HA高精度直流伺服线性位移台具有200 mm的行程范围，并将快速、亚微米分辨率的运动结合在一个高度刚性和坚固的包装中。其挤压铝制主体已经过优化，可以避免因铝制主体和钢轨的热膨胀系数不同而产生的弯曲效应。特殊的U形轮廓也为结构提供刚度，同时保持了较低的质量。预加载的无齿隙滚珠丝杠提供快速运动以及快速步进和稳定时间。螺杆的轮廓精确，可将加热降至最低，并延长位移台的使用寿命。循环滚珠轴承滑轨确保精确的直线运动，并消除在典型的直线滚珠轴承或交叉滚柱轴承上发现的滚珠保持架偏移。ILS200HA具有集成的线性标尺，可提供0.1 µm的分辨率反馈。上部的刚性盖防止损坏传动系统，并保护其免受灰尘、碎屑和其他污染物的影响。ILS系列位移台还具有位于行程中心的原点，用于可重复初始化，限位开关用于防止超过行程，弹性行程末端减震器用于平稳的紧急制动。